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photoelectronsoulPES-2020電子束系統®應用 ：半導體晶圓檢測設備？

更新時間：2023-11-23      瀏覽次數：654

photoelectronsoulPES-2020電子束系統®應用 ：半導體晶圓檢測設備

【產品特點】

電子束比肖特基亮 10 倍以上

世界數字選擇性電子束™ (DSeB) 功能

多束兼容，可形成任意形狀的電子束

即使在長期運行期間也能保持高可用性和出色的輸出穩定性

[機身規格]

加速電壓：可調至-50kV

光束電流：200 uA 或以上

尺寸：821 mm x 722 mm x 562 mm（高 x 寬 x 深）

重量：140 kg

激光等級：4 級

安全標準：SEMI S2合規的

電子束工作在15uA電流下，穩定性為0.033% (g)，正常運行時間為96%(達到)由于光陰極表面功能的惡化，光陰極的量子效率下降。根據量子效率(綠線)的惡化，通過控制激光功率(黃線)來保持電子束電流(藍線)的穩定。通過表面再活化，表面功能得到了恢復。

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