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日本orc半導體光刻機 PPS-8200p1/8300p1 東洋研磨材TOYO 打磨機緊湊的通用機 用途:支持各種應用 特長 -寬頻譜光刻 (與菜單連動的 ghi線 gh線, i線的自動切換) -搭載可變NA功能 (可變為0.16和0.1) -最多8Field的拼接設計格式 -光學系統不受感光材揮發氣體和周圍環境中化學物質影響
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