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產品型號：FlexPro/Micro-Z
更新時間：2024-07-10簡要描述：koenn伺服馬達驅動器 FlexPro/Micro-Z Nanomotion Inc. 的超聲波馬達可以顯著移動載物臺并以納米精度定位。用于半導體設備真空室中的晶圓傳送和電子顯微鏡的微動。這種超聲波馬達將稱為元件的突起壓在載物臺上并高速振動以移動載物臺。請試用與一般電動機不同的結構簡單的執(zhí)行器。
| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合 |
koenn伺服馬達驅動器 FlexPro/Micro-Z
koenn伺服馬達驅動器 FlexPro/Micro-Z
Nanomotion Inc. 的超聲波馬達可以顯著移動載物臺并以納米精度定位。
用于半導體設備真空室中的晶圓傳送和電子顯微鏡的微動。
這種超聲波馬達將稱為元件的突起壓在載物臺上并高速振動以移動載物臺。請試用與一般電動機不同的結構簡單的執(zhí)行器。も內蔵しています。位置制御、荷重制御、圧力制御に適しており、入力段は、3 入力（ SIG、FB1、FB2 ）加算型となっています。特に FB2 は指令信號とフィードバック信號が同極性の場合に対応する為に、インバータ回路が內臓されていす。入力信號は電圧（±10V）と電流（4-20mA）に対応しています。出力段は、定格電流が±100mA までのノズルフラッパ型サーボ弁を直接駆動する電流出力となっています。又、電圧入力（±10V）型サーボ弁（直動弁、三段型サーボ弁）駆動用に電圧出力にも対応しています。
| 電源 | DC24V±10%電流0.3A | |
| 輸入信號 SIG、FB1、FB2 共用 | ±10V 電壓輸入阻抗 100kΩ 4 至 20mA 電流輸入阻抗 249Ω | |
| 輸出額定值 | ±100mA以下可通過內部DIP開關選擇 或±10V 電流可從5、10、15、20、30、40、50、60、70、80、90、100mA中選擇 | |
| 環(huán)境溫度、濕度 | 0 至 +50°C，90% RH 或更低 | 無結露 |
| 抖動信號 頻率調整范圍 Level調整范圍 | 200Hz正弦波 調節(jié)范圍在額定輸出電流的20%pp以內 | |
| 外形尺寸 | 42W x 184H x 102D（毫米） | 不包括連接器的突起 |
| 大量的 | 0.65公斤 |
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