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          日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺

          • 產(chǎn)品型號:MVXA05A-R102
          • 更新時間:2024-10-10

          簡要描述:日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺MVXA05A-R102
          1.真空兼容自動X平臺,采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌。
          2.進(jìn)給方式采用高分辨率磨削螺桿。
          3.采用真空對應(yīng)5相步進(jìn)電機(jī)。

          產(chǎn)品詳情
          品牌其他品牌產(chǎn)地類別進(jìn)口
          應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,能源,電子/電池,綜合

          日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺MVXA05A-R102

          注釋/特點(diǎn)

          1.真空兼容自動X平臺,采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌。

          2.進(jìn)給方式采用高分辨率磨削螺桿。

          3.采用真空對應(yīng)5相步進(jìn)電機(jī)。

          機(jī)械規(guī)格

          模型  MVXA05A-R102

          桌面  50毫米×50毫米

          指導(dǎo)方法  精密交叉滾子導(dǎo)軌

          移動范圍  ±7.5毫米

          飼養(yǎng)方法  接地螺絲,導(dǎo)程0.5mm

          分辨率全/半  1μm/0.5μm

          分辨率 微步(1/20 格)  0.05μm

          最大速度  2.5毫米/秒:半5kpps

          累計導(dǎo)程誤差  ≤6μm/15mm

          重復(fù)定位精度  ≤±0.5μm

          失去運(yùn)動  ≤1μm

          水平真直度  ≤1μm/15mm

          垂直真直度  ≤1μm/15mm

          反彈  ≤1μm

          力矩剛度  0.31 弧秒/N?cm

          水平承載能力  49N(5公斤力)

          材質(zhì)  鋁合金

          自重  0.66公斤

          日本kohzu 真空兼容 X 定位平臺MVXA05A-R102

          注釋/特點(diǎn)

          1.真空兼容自動X平臺,采用精密交叉滾柱導(dǎo)軌。

          2.進(jìn)給方式采用高分辨率磨削螺桿。

          3.采用真空對應(yīng)5相步進(jìn)電機(jī)。

          機(jī)械規(guī)格

          模型  MVXA05A-R102

          桌面  50毫米×50毫米

          指導(dǎo)方法  精密交叉滾子導(dǎo)軌

          移動范圍  ±7.5毫米

          飼養(yǎng)方法  接地螺絲,導(dǎo)程0.5mm

          分辨率全/半  1μm/0.5μm

          分辨率 微步(1/20 格)  0.05μm

          最大速度  2.5毫米/秒:半5kpps

          累計導(dǎo)程誤差  ≤6μm/15mm

          重復(fù)定位精度  ≤±0.5μm

          失去運(yùn)動  ≤1μm

          水平真直度  ≤1μm/15mm

          垂直真直度  ≤1μm/15mm

          反彈  ≤1μm

          力矩剛度  0.31 弧秒/N?cm

          水平承載能力  49N(5公斤力)

          材質(zhì)  鋁合金

          自重  0.66公斤



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