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          日本yako-sangyo 半導體氣體擴散器

          • 產品型號:SUS316L
          • 更新時間:2024-08-30

          簡要描述:日本yako-sangyo 半導體氣體擴散器SUS316L
          氣體擴散器是主要防止負載鎖定室向大氣開放時晶圓等受到污染、縮短排氣循環時間、提高系統吞吐量的擴散器。
          ?元件部分SUS316L
          ?也可用于高溫應用。
          ?尺寸緊湊,可靠性高,可承受沖擊和振動。

          產品詳情
          品牌其他品牌價格區間1-1萬
          應用領域綜合

          日本yako-sangyo  半導體氣體擴散器SUS316L

          氣體擴散器是主要防止負載鎖定室向大氣開放時晶圓等受到污染、縮短排氣循環時間、提高系統吞吐量的擴散器。

           ?元件部分SUS316L

           ?也可用于高溫應用。

           ?尺寸緊湊,可靠性高,可承受沖擊和振動。

          氣體擴散器概述

          1.流量范圍廣,從 6 到 300 SLPM。

          2.與高純度半導體氣體兼容。

          3.3 納米顆粒過濾功能可保持高流動效率,同時最大限度地減少壓降。

          4.5Ra 電解拋光表面可防止內部污染。

          5.為了滿足半導體工藝標準,我們在用去離子水清洗后用高溫氮氣進行烘烤。

          日本yako-sangyo  半導體氣體擴散器SUS316L

          氣體擴散器是主要防止負載鎖定室向大氣開放時晶圓等受到污染、縮短排氣循環時間、提高系統吞吐量的擴散器。

           ?元件部分SUS316L

           ?也可用于高溫應用。

           ?尺寸緊湊,可靠性高,可承受沖擊和振動。

          氣體擴散器概述

          1.流量范圍廣,從 6 到 300 SLPM。

          2.與高純度半導體氣體兼容。

          3.3 納米顆粒過濾功能可保持高流動效率,同時最大限度地減少壓降。

          4.5Ra 電解拋光表面可防止內部污染。

          5.為了滿足半導體工藝標準,我們在用去離子水清洗后用高溫氮氣進行烘烤。

          日本yako-sangyo  半導體氣體擴散器


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