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          日本Tekhne露點儀：半導體超純氣體濕度監測專家
          
            
          更新時間：2025-08-15      瀏覽次數：40
          
          
          
          
        
          
        
           
          日本Tekhne公司生產的露點儀是專門用于半導體超純氣體濕度監測的高精度儀器。在半導體制造過程中，氣體的純度和濕度控制至關重要，因為微小的濕度變化可能會對半導體器件的性能和質量產生嚴重影響。以下是關于日本Tekhne露點儀的詳細介紹：
          一、產品概述
          • 品牌：日本Tekhne
          • 用途：用于監測半導體制造過程中超純氣體的濕度，確保氣體的純度和干燥度。
          • 目標客戶：半導體制造企業、電子材料供應商、科研機構等。
          二、主要特點
          1. 高精度測量
            • 測量范圍：能夠測量極低的露點溫度，通常在-100°C至0°C之間，適用于超純氣體的濕度監測。
            • 測量精度：露點溫度測量精度可達±0.1°C，確保測量結果的高可靠性。
            • 重復性：測量結果具有高重復性，確保長期穩定的監測效果。
          2. 快速響應
            • 快速測量：能夠在短時間內完成露點溫度的測量，快速響應濕度變化。
            • 實時監測：支持實時數據輸出，便于用戶及時調整氣體干燥系統。
          3. 高穩定性
            • 傳感器技術：采用先進的傳感器技術，確保在惡劣環境下的穩定性和可靠性。
            • 溫度補償：內置溫度補償功能，確保在不同環境溫度下的測量精度。
          4. 數據管理
            • 數據記錄：設備內置數據記錄功能，可存儲大量的測量數據。
            • 數據輸出：支持USB、LAN等多種數據輸出方式，方便用戶將數據導入計算機進行分析。
            • 數據分析：配備專業的數據分析軟件，可對測量數據進行統計分析，生成報表。
          5. 用戶友好
            • 操作簡便：配備直觀的用戶界面，操作簡便，無需復雜培訓。
            • 校準功能：設備內置校準功能，用戶可以定期進行校準，確保測量精度。
          三、技術參數
          • 測量范圍：
            • 露點溫度：-100°C至0°C
            • 濕度范圍：1 ppmv（百萬分之一體積比）至100% RH（相對濕度）
          • 測量精度：
            • 露點溫度精度：±0.1°C
            • 濕度精度：±1% RH
          • 響應時間：小于1分鐘
          • 傳感器類型：高精度露點傳感器
          • 數據存儲：內置大容量存儲器，可存儲數月的數據
          • 數據輸出：USB、LAN、RS-232C等多種接口
          • 環境要求：
            • 溫度：-10°C至50°C
            • 濕度：0%至95% RH（無凝結）
          • 電源要求：AC 100V-240V，50/60Hz，功率約100W
          • 尺寸與重量：
            • 尺寸：約400mm（寬）×300mm（深）×200mm（高）
            • 重量：約10公斤
          四、應用領域
          1. 半導體制造
            • 晶圓制造：在晶圓制造過程中，監測超純氣體（如氮氣、氬氣、氦氣等）的濕度，確保氣體的純度和干燥度。
            • 光刻工藝：在光刻過程中，監測光刻氣體的濕度，確保光刻工藝的精度。
          2. 電子制造
            • 電子元件制造：監測電子元件制造過程中使用的超純氣體的濕度，確保元件的性能和可靠性。
            • PCB制造：監測PCB制造過程中使用的氣體的濕度，確保焊接質量和可靠性。
          3. 科研機構
            • 材料研究：在材料研究中，監測實驗氣體的濕度，確保實驗結果的準確性。
            • 工藝開發：在新工藝開發過程中，監測氣體的濕度，優化工藝參數。
          五、操作流程
          1. 開機準備
            • 打開設備電源，進行開機自檢。
            • 確保設備處于清潔狀態，檢查傳感器和測量裝置是否正常。
          2. 氣體連接
            • 將待監測的超純氣體管道連接到露點儀的進氣口。
            • 確保氣體流量穩定，符合設備要求。
          3. 自動測量
            • 設備自動開始測量氣體的露點溫度和濕度，測量結果實時顯示在屏幕上。
            • 測量數據自動記錄并存儲。
          4. 數據輸出
            • 檢測完成后，用戶可以通過USB接口或網絡接口將數據導出到計算機。
            • 使用數據分析軟件對數據進行統計分析，生成檢測報告。
          5. 設備維護
            • 定期對設備進行清潔和校準，確保設備的長期穩定運行。
          六、優勢與價值
          1. 高精度：能夠測量極低的露點溫度，確保超純氣體的濕度控制。
          2. 快速響應：快速測量和實時監測，便于及時調整氣體干燥系統。
          3. 高穩定性：先進的傳感器技術和溫度補償功能，確保設備在惡劣環境下的穩定性和可靠性。
          4. 數據管理：支持數據記錄、存儲和輸出，方便用戶進行數據分析和質量控制。
          5. 用戶友好：操作簡便，內置校準功能，確保測量精度。
          七、售后服務
          • 技術支持：提供專業的技術支持，包括設備安裝、調試、培訓和維護。
          • 保修服務：設備提供一年有限保修服務，保修期內免費維修和更換零部件。
          • 備件供應：提供充足的備件供應，確保設備的長期穩定運行。

           
          
        
      
          
    
          
  
          

          


          
  
          
    
          
      
           
        
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