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          日本LINTEC汽化器型號(hào)及介紹

          更新時(shí)間:2025-08-02      瀏覽次數(shù):108

          日本LINTEC(琳得科)汽化器 的典型型號(hào)及技術(shù)介紹,適用于半導(dǎo)體、電子封裝等領(lǐng)域的精密涂布工藝:


          1. 核心型號(hào)及特點(diǎn)

          (1) 標(biāo)準(zhǔn)型汽化器

          型號(hào):VEC-2000

          • 用途:液態(tài)材料(光刻膠、溶劑)的汽化沉積

          • 技術(shù)參數(shù)

            • 汽化溫度范圍:50~300℃(±0.5℃控溫)

            • 最大流量:2000cc/min

            • 適用材料粘度:1-1000cP

          • 優(yōu)勢
            ? 均勻汽化,膜厚偏差<±3%
            ? 模塊化設(shè)計(jì),支持快速換料

          (2) 高精度型

          型號(hào):VEC-3000P

          • 用途:半導(dǎo)體晶圓級(jí)封裝(如PI膠、SiO?前驅(qū)體)

          • 技術(shù)參數(shù)

            • 汽化精度:±0.1mg/min

            • 支持惰性氣體保護(hù)(N?/Ar)

            • 集成式過濾器(防顆粒污染)

          • 優(yōu)勢
            ? 適用于高純度工藝(Class 100潔凈環(huán)境)
            ? 符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)


          2. 行業(yè)應(yīng)用

          領(lǐng)域應(yīng)用案例適配型號(hào)
          半導(dǎo)體封裝晶圓凸點(diǎn)封裝(Underfill)VEC-3000P
          顯示面板OLED薄膜封裝VEC-2000
          光伏太陽能電池鈍化層沉積VEC-2000

          3. 技術(shù)優(yōu)勢

          • 無氣泡汽化:專的利渦流加熱技術(shù),避免材料分解

          • 智能控制:觸摸屏設(shè)定參數(shù),自動(dòng)記錄工藝數(shù)據(jù)

          • 安全設(shè)計(jì):過溫/過壓保護(hù),通過CE/JIS認(rèn)證


          4. 選型建議

          • 基礎(chǔ)工藝:VEC-2000(性價(jià)比高)

          • 高純環(huán)境:VEC-3000P(超低顆粒釋放)

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