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用于氣相分解的VPDBOX的技術參數

更新時間：2024-09-05      瀏覽次數：587

用于氣相分解的VPDBOX的技術參數


VPD BOX特點

●該設備利用氫氟酸自然汽化，在氣相狀態下分解硅片上的氧化膜和氮化膜，使硅片表面疏水化。

●與酸性液體、酸性氣氛接觸的部件采用PTFE、PVDF。

●請與半自動收集裝置SC系列配合使用。

規格參數

裝置名VPDBOX-200-1MVPDBOX-300-1M
最大處理張數1 件1 件
外形(W×D×H)(mm)(※1)290×290×250390×390×250
重量6公斤8公斤
使用場所干凈的草案里面
干凈的草案里面
外部資源N2氣（用于酸性氣氛吹掃）

N2氣（用于酸性氣氛吹掃）



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