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h-square低接觸全自動晶圓傳輸機 - LCT1AS12特征？

更新時間：2023-12-11      瀏覽次數：595

自動化晶圓處理 > 晶圓搬運 > 低接觸全自動晶圓傳輸機 - LCT1AS12

產品

描述

桌上型自動高性能水平晶圓轉移工具。先進的低接觸晶圓傳輸機可提供最潔凈、可靠和快速的標準晶圓和易碎晶圓傳輸方式。

堅固的結構設計提供高可靠性和低維護成本，小體積的設計節省寶貴的潔凈室空間。LCT1AS12兼容所有業界標準的FOUP、FOSB和SEMI標準金屬和塑料開放式料盒。




LCT1AS12 特性：


觸摸屏控制

FOUP 轉 FOSB

交叉槽、晶圓重疊和晶圓存在的傳感器映射檢查

PVDF 涂層桿

一次傳輸 25 個晶圓

規格

晶圓尺寸300

電源要求220VAC 至 24VDC   3 安培  電源單獨出售

吞吐量每小時 60 盒

重量75 磅


附加信息

裝運重量165磅

裝運尺寸19 × 35 × 20 英寸




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