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          okksg紫外線照射機FHUV-系列特征?

          更新時間:2023-11-21      瀏覽次數:496

          高壓汞規格
          全自動UV照射機

          FHUV-系列
          “緊湊型"和“高輸出"高壓汞燈規格

          概述

          高壓汞/金鹵燈全自動UV照射設備是一種使用具有強輻射能的燈管的紫外線固化設備。

          裝入工件后,按下啟動按鈕,機器將全自動將工件從料庫中取出,并用紫外燈照射,并存儲,直到料庫中的工件全部完成。
          根據目標工作,您可以選擇高壓汞燈和金屬鹵化物燈。

          特征

          • 緊湊的機身

          • 可以進行 10 種配方設置(速度根據設置而變化)

          • 可使用觸摸面板以 4 種方式設置功率

          • 顯示累積照射量和紫外線照射強度(僅照射期間)

          • 可根據照射對象選擇高壓汞燈/金屬鹵化物燈

          • 配備自動設置變更功能,可自動切換至不同尺寸

          • 不僅可以照射切割框,還可以照射握持環。

          • 具備判斷UV照射是否完成的功能。

          目的

          可用于LSI晶圓、存儲器晶圓、LED晶圓、激光晶圓、傳感器晶圓、功率器件晶圓等各種工藝。

          規格

          尺寸寬1300×深1400×高1350(毫米)
          重量約400公斤
          駕駛空氣0.4Mpa以上
          紫外線照度200mW/cm2以上
          氮氣0.2Mpa以上 100L/min以上
          電源交流三相200V 50/60Hz 100A

          *尺寸適用于 8 英寸類型。


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