lintec-mfc/MC-7000系列特征？

更新時(shí)間：2023-11-18

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快速響應(yīng)質(zhì)量流量控制器

響應(yīng)時(shí)間200毫秒的超高速質(zhì)量流量控制器。

使用熱傳感器實(shí)現(xiàn) 100 毫秒（典型值）的高速流量控制。琳得科的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可實(shí)現(xiàn)腐蝕性氣體的超高速流量控制。

±1.0% SP的高精度流量精度，數(shù)字通信方式可選擇DeviceNet和EtherCAT。

特征

超高速流量控制200msec
精度±1%SP
工作溫度5-50℃
金屬密封
清潔（保證顆粒）
環(huán)境溫度補(bǔ)償傳感器
EtherCAT通訊
DeviceNet™ 通信

使用示例

快速蝕刻工藝

在半導(dǎo)體制造工藝中，需要在小型化的同時(shí)提高產(chǎn)量。即使對(duì)于控制反應(yīng)氣體流量的質(zhì)量流量控制器，對(duì)更短的流量控制啟動(dòng)（上升）時(shí)間的需求也在不斷增加。超高速質(zhì)量流量控制器[MC-7000]是流量傳感器與流量測(cè)量氣體不接觸的非接觸式熱式流量傳感器，實(shí)現(xiàn)了200℃的超高速響應(yīng)。毫秒。由于是非接觸式，因此可以在測(cè)量腐蝕性氣體的流量時(shí)進(jìn)行高速流量控制。

規(guī)格表

_溫度	_最小壓差	_最大壓差	_{準(zhǔn)確性}	_控制范圍	_{最小滿量程}	_{最大滿量程}	_貼紙
_5~50℃	_50kPa	_300kPa	_±1%SP	_{2~100%滿量程}	_5SCCM	_20SLM	_金

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