咨詢電話
15766191432
products
產品分類
更新時間：2023-11-18 
瀏覽次數：439響應時間200毫秒的超高速質量流量控制器。
使用熱傳感器實現 100 毫秒（典型值）的高速流量控制。琳得科的非接觸式熱流量傳感器和壓電控制閥可實現腐蝕性氣體的超高速流量控制。
±1.0% SP的高精度流量精度，數字通信方式可選擇DeviceNet和EtherCAT。
超高速流量控制200msec
精度±1%SP
工作溫度5-50℃
金屬密封
清潔（保證顆粒）
環境溫度補償傳感器
EtherCAT通訊
DeviceNet™ 通信
在半導體制造工藝中，需要在小型化的同時提高產量。即使對于控制反應氣體流量的質量流量控制器，對更短的流量控制啟動（上升）時間的需求也在不斷增加。超高速質量流量控制器[MC-7000]是流量傳感器與流量測量氣體不接觸的非接觸式熱式流量傳感器，實現了200℃的超高速響應。毫秒。由于是非接觸式，因此可以在測量腐蝕性氣體的流量時進行高速流量控制。
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 準確性 | 控制范圍 | 最小滿量程 | 最大滿量程 | 貼紙 |
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%SP | 2~100%滿量程 | 5SCCM | 20SLM | 金 |
您的位置：
在線咨詢
返回頂部